[发明专利]一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置在审
| 申请号： | 202210466010.9 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114864372A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蒋军浩;袁元;张启华;江慧英;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 洪启集成电路（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;G01N27/64 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 张金龙 |
| 地址： | 519080 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置。本发明包括样品台、样品托和磁传递杆；样品台用于固定于二次离子质谱仪的样品室移动台上，样品台包括固定底座以及设置于固定底座上的左侧壁、右侧壁和后侧壁，左侧壁、右侧壁和后侧壁围合形成安装槽；样品托设置于安装槽内，样品托中部贯穿设置有容置腔，容置腔用于固定装有多个样品的样品装载装置，样品托的前端面设置有装配槽；磁传递杆包括底板和杆部，杆部的一端与底板的板面固定连接，底板可拆卸的固定于装配槽内，磁传递杆用于带动样品托于样品台前侧的方向进入或移出安装槽。本发明结构简单，操作方便，定位精确，能够有效在真空环境下将样品送至指定区域并取出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 离子 质谱仪 空腔 传递 样品 装置 | ||
【主权项】：
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