[发明专利]一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法有效
| 申请号： | 202210462191.8 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114577126B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张渤;赵谦;郑轩;王丹;张方 | 申请（专利权）人： | 西安地山视聚科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G06T7/60 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 马凤云 |
| 地址： | 710116 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法，包括步骤：一、在双层复合石英坩埚上布设光栅检测点；二、采集光栅检测点移动时的视频图像；三、对信息待提取视频的有效视频段进行选择；四、选择有效视频段中内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像；五、根据内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像的拍摄时间差和待测坩埚的移动速度计算待测坩埚在当前光栅检测点处的厚度。本发明基于图像识别进行双层复合石英坩埚壁厚的检测，检测速度快、检测精度高，对每个光栅检测点都有视频留存便于溯源，可根据实际需求进行检测精度的调整，大大降低检测成本，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 双层 复合 石英 坩埚 检测 方法 | ||
【主权项】：
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