[发明专利]一种基于电涡流效应的绝对式直线位移传感器有效
申请号: | 202210456995.7 | 申请日: | 2022-04-28 |
公开(公告)号: | CN114739276B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 武亮;王鑫达;汤其富;陈锡侯;徐是;郑方燕 | 申请(专利权)人: | 重庆理工大学 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 唐锡娇 |
地址: | 400054 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于电涡流效应的绝对式直线位移传感器,包括动尺和定尺,定尺为由定阵面沿X方向、Y方向切割而成的矩形结构,定阵面包括定阵面基体和嵌在该定阵面基体上的m×n个电涡流金属反射片,电涡流金属反射片的形状为矩形,m×n个电涡流金属反射片排列成在X'方向等间隔的m行和在Y'方向等间隔的n列;动尺包括动尺基体和布置在动尺基体上的四个平面矩形螺旋线圈,四个平面矩形螺旋线圈排列成在X'方向等间隔的两行和在Y'方向等间隔的两列。其能简化结构、提高适用性,并且减小加工工艺对测量结果的影响,提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 涡流 效应 绝对 直线 位移 传感器 | ||
【主权项】:
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