[发明专利]一种采用PECVD涂层敷形保护的方法在审
| 申请号： | 202210437923.8 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114769089A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈军;倪海鹰;周天楠 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D7/14;C09D125/08 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 刘磊 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及气相沉积技术领域，具体涉及一种采用PECVD涂层敷形保护的方法，先在被保护样品表面沉积一层催化剂，再注入反应气体，通过界面反应获得所需要的沉积涂层。可以提高敷形涂层的沉积效率，由过去的60min缩短致10min以内。而且通过SEM观察，可以发现表面差异不大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 pecvd 涂层 保护 方法 | ||
【主权项】：
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