[发明专利]一种近矩形电极结构的电场补偿式离子速度成像装置在审

专利信息
申请号: 202210434113.7 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN114813909A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 梁宇;任泽峰;杨学明 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及电子和离子探测技术领域,特别涉及一种近矩形电极结构的电场补偿式离子速度成像装置。该装置包括离子光学模块和探测模块;离子光学模块包括沿带电离子运动方向依次设有的排斥极、排斥补偿极、引出补偿极、收集极及接地圆环,其中排斥补偿极与排斥极连接,且排斥补偿极与排斥极之间设有第一绝缘垫;引出补偿极与收集极连接,且引出补偿极和收集极之间设有第二绝缘垫;排斥补偿极和引出补偿极之间的区域为激光电离区;探测模块设置于接地圆环远离排斥极的一端。本发明可用于离子速度成像,尤其是表面散射‑离子速度成像,能有效减小样品表面和电离区域的距离,从而提升产物探测效率。
搜索关键词: 一种 矩形 电极 结构 电场 补偿 离子 速度 成像 装置
【主权项】:
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