[发明专利]双线十字线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统在审
| 申请号： | 202210421500.7 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114750313A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 薛俊兵;马飞;孙鹏;霍士凡 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B24B9/06 |
| 代理公司： | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人： | 李瑞;宋珊珊 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种双线十字线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统，其中，方法包括：沿着硅棒的长度方向通过切割线对硅棒进行一次切割，形成两个平行的第一侧面，分别位于硅棒中心线的两侧；沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割，形成与第一侧面垂直相交的第二侧面，且第二侧面的宽度小于硅棒的直径；沿着硅棒的长度方向通过两条切割线对硅棒进行切割，其中一条切割线与第一侧面垂直相交；另一条切割线与第二侧面垂直相交，且形成的切割面位于两个第一侧面之间，得到两个横截面为矩形的小硅棒。本申请实施例提供的双线十字线切割硅棒的方法能够直接得到尺寸较小的硅棒，切片后得到尺寸较小的硅片，提高成品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 双线 十字 切割 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
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