[发明专利]一种磁流体轴在审
| 申请号： | 202210417198.8 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116951003A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F16C35/12 | 分类号： | F16C35/12;F16C32/06;F16C33/72;F16C37/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 宋天凯 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种磁流体轴，包括内轴和外轴，所述外轴外套安装于所述内轴，且所述外轴和所述内轴之间设置有若干沿轴向间隔设置的轴承，至少两个相邻的所述轴承之间填充有磁流体，所述外轴和所述内轴中的至少一者设置有冷却通道，用于通入冷却介质。采用这种方案，在需要进行冷却时，可以向该冷却通道内通入冷却介质，以降低磁流体轴的温度，从而可以保证磁流体轴在高温环境中的使用性能和寿命，使得该磁流体轴可以在离子束蚀刻和离子束沉积这两种不同的工艺中使用，能够大幅提高该磁流体轴的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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