[发明专利]一种多通道高密度的超窄可拉伸微电极及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210377357.6 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114831645A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘志远;李韩飞;李光林;韩飞;谢瑞杰;赵行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | A61B5/296 | 分类号： | A61B5/296;A61B5/25;A61N1/04;C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈;李玉娜 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多通道高密度的超窄可拉伸微电极及其制备方法和应用。其中，制备方法包括如下步骤：提供一柔性基底；柔性基底包括拉伸区和固定区；对拉伸区进行拉伸放大处理；通过掩模版对拉伸放大处理后的柔性基底进行图案溅射制备导电层；释放拉伸区使其回缩；封装后即得到多通道高密度超窄可拉伸微电极。本发明提供的制备方法结合微裂纹金膜技术与柔性基底的预拉伸尺寸放大，不仅可以将电极制备成多通道高密度的超窄电极，还保证电极良好的拉伸性能以及循环稳定性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 高密度 超窄可 拉伸 微电极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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