[发明专利]基于拉曼分析的无损高深宽比结构的测量装置及方法在审
| 申请号： | 202210373807.4 | 申请日： | 2022-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN114778514A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王琛;张思勉;王宇祺;邓晓楠;武逸飞;李正操 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种基于拉曼分析的无损高深宽比结构的测量装置及方法，该装置包括：激光光源发射出激光光束；聚光部件使激光光束聚焦于可动载物台上方且使得聚光部件的焦平面位于初始位置，并在测量过程中控制焦平面从初始位置移动到待测孔的底面；可动载物台承载待测样品且能够在与光路主轴垂直的平面移动，待测样品中待测孔的轴向与光路主轴平行且待测孔处于与激光光束的聚焦区域对应的位置；探测模块对入射的待测样品返回的拉曼散射信号进行采集，并根据采集结果确定出待测孔的结构参数。可对高深宽比结构进行快速无损测量，有助于高效评估加工质量和微结构特征，为提高工艺良率、优化工艺条件提供依据。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 分析 无损 高深 结构 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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