[发明专利]一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途有效
| 申请号： | 202210371353.7 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114447204B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 杨丽娜;冯加贵;熊康林;吴艳伏;李睿颖;贾浩林 | 申请（专利权）人： | 材料科学姑苏实验室 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/02;H01L39/12;H01L39/22 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 赵颖 |
| 地址： | 215125 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途，在衬底上制备Ta（110）膜，光刻制备超导电路结构，掩膜光刻形成下电极Ta（110）层，下电极Ta（110）层表面制备Ta |
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| 搜索关键词： | 一种 满足 大晶圆 尺寸 约瑟夫 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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