[发明专利]一种声表面波气体传感器的镀膜方法在审
| 申请号： | 202210365600.2 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114839261A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/14;B05D7/24;B05D7/14;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;张红生 |
| 地址： | 330063 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波气体传感器的镀膜方法，所述镀膜方法的步骤包括：1)旋涂或滴涂SXFA溶液至镀膜区(3)；2)将声表面波气体传感器在50‑80℃的烘干温度下，进行1‑2小时的烘干；3)在烘干期间，镀膜专用声表面波叉指换能器(6)交替产生声表面波，驱动SXFA溶液均匀分布在镀膜区(3)的金属膜(7)的表面上；4)烘干完成后去除镀膜专用声表面波叉指换能器(6)。本发明减少了烘干过程中产生的聚合物分子团聚现象，降低了传感器器件损耗，提高了传感器响应幅度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 气体 传感器 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南昌航空大学，未经南昌航空大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210365600.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
