[发明专利]一种薄膜内应力检测方法在审
| 申请号： | 202210352188.0 | 申请日： | 2022-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN115265862A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 孙小燕;王星宇;胡友旺;段吉安 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜内应力检测方法，包括光纤布拉格光栅、光纤光栅解调系统和光纤夹具。所述光纤解调系统包括光纤光栅解调仪及信号光源。所述检测方法是利用应力作用在光纤布拉格光栅上时，会导致布拉格光栅的栅距改变，从而改变布拉格光栅的中心波长，通过观测布拉格光栅中心波长的漂移可以得到光纤受到的应变，以此计算得出薄膜的内应力。本发明所述测量装置具有结构简单、分辨率高、适用于动态监测等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 内应力 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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