[发明专利]一种设备的温度调节方法、控制器、系统及存储介质在审
| 申请号： | 202210348769.7 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN114706435A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 卢志辉;张帅;韩帅;刘一鸣 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 于彬 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种设备的温度调节方法、控制器、系统及存储介质，包括：基于目标设备液体出口处循环液的第一温度以及电控阀液体入口处调节液的第二温度，确定电控阀的目标开度，以使调节液在目标开度下通过电控阀对循环液进行一级调温；基于热交换器液体出口处循环液的第三温度，确定第一目标功率，并控制第一温度调节器件按照第一目标功率工作，对循环液进行二级调温；基于第一温度调节器件液体出口处循环液的第四温度，确定第二目标功率，并控制第二温度调节器件按照第二目标功率工作，对循环液进行三级调温，以使经过三级调温后的循环液对目标设备进行再次温度调节。这样，通过三次温度逐级精准调节，提高了温度调节的准确性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 温度 调节 方法 控制器 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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