[发明专利]一种激光摆轴光束指向误差自动校正方法有效
申请号: | 202210346201.1 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114739291B | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 李明;江浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 赵逸宸 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 为了解决现有激光摆轴加工系统加工精度低且难以调整的问题,本发明提供了一种激光摆轴光束指向误差自动校正方法,通过该方法可大幅减小由于光束与激光摆轴存在夹角而导致焦点位置产生变化的问题,对于提升基于“硬光路”传输的激光摆轴加工系统的制造精度具有重要意义。该激光摆轴光束指向误差自动校正系统,包括激光器、第一反射镜、激光摆轴、标定板、反射单元、第二反射镜和同轴相机;本发明提供的激光摆轴光束指向误差自动校正方法能够对现有技术中存在的误差进行有效补偿并自动校正;同时,本发明提供的系统结构简单、成本低,可在现有结构的基础上直接进行改造升级。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 摆轴 光束 指向 误差 自动 校正 方法 | ||
【主权项】:
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