[发明专利]一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导在审
| 申请号： | 202210331480.4 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114706165A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 周彦汝;尹程玉;刘文耀;邢恩博;唐军;刘俊 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/124;G02B6/122 |
| 代理公司： | 太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14112 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成硅基Y波导，具体是一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导。本发明解决了现有集成硅基Y波导带宽小、损耗高、加工误差敏感度高的问题。一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导，包括呈横向设置的主直波导段；主直波导段的右端延伸设置有左窄右宽的锥形波导段；锥形波导段的右端延伸设置有两个过渡直波导段，且两个过渡直波导段呈前后对称分布；两个过渡直波导段之间形成有耦合狭缝；两个过渡直波导段的右端各延伸设置有一个圆弧波导段，且两个圆弧波导段呈前后对称分布；耦合狭缝内填充有亚波长光栅，且亚波长光栅的各个栅条均呈纵向设置。本发明适用于光通信、光传感领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带宽 损耗 集成 波导 | ||
【主权项】：
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