[发明专利]用于检测衬底的结构变化的检测系统和方法在审
| 申请号： | 202210329803.6 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116735955A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 郑进雄;林浩;刘家良 | 申请（专利权）人： | 物流及供应链多元技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02;H04W4/38 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙尚白;倪斌 |
| 地址： | 中国香港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于识别衬底(200)的结构变化(300)的检测系统(100)和方法包括：传感器(101)，其被配置为以可变频率谐振，所述传感器的谐振频率响应于衬底的结构变化而变化；位于传感器附近的检测器(102)，其用于检测传感器的谐振频率；以及与检测器通信的接收装置(103)，其用于接收由检测器输出的信息；与接收装置通信的分析装置(108)，其用于解释由接收装置输出的信息。传感器包括用于接合衬底的接合表面。检测器以使得传感器和检测器被布置成形成叠层结构的方式位于传感器上并远离接合表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 衬底 结构 变化 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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