[发明专利]一种晶棒拉制方法在审
| 申请号： | 202210329332.9 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114657629A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 武绚丽;杨超;宋克冉 | 申请（专利权）人： | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 655000 云南省曲靖市曲靖*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒拉制方法，包括如下步骤：化料步骤：在单晶炉内通入氩气，并开启干泵，对所述单晶炉内的原料进行熔炼，得到熔融液；降温步骤：降低所述熔融液的温度，得到降温后的熔融液；拉晶步骤：对降温后的所述熔融液中进行拉制，得到晶棒；其中，从所述化料步骤进入所述降温步骤时，伴随着温度的降低，还降低氩气的流量、降低炉压。本发明实施例的晶棒拉制方法在降温阶段通过降低氩气流量和降低炉压可以有效的减少熔融液中的杂质，使熔融液中的氧尽可能的析出，以在引晶前进一步降低熔融液中的氧含量，进一步提高了晶棒的成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 方法 | ||
【主权项】：
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