[发明专利]太赫兹阵列成像装置及其成像方法在审
| 申请号： | 202210322219.8 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114839156A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 谭智勇;曹俊诚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 施婷婷 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太赫兹阵列成像装置及其成像方法，包括：太赫兹激光源及依次设置在光路支架上的离轴抛物面反射镜、样品板、平移台、太赫兹阵列探测器；平移台上设置有透镜，透镜在光路支架上沿竖直方向移动；太赫兹激光源输出发散的太赫兹激光；离轴抛物面反射镜将发散的太赫兹激光转变为沿竖直方向传输的平行太赫兹光；样品板用于放置目标样品；透镜用于收集并会聚穿过样品板及目标样品的平行太赫兹光；太赫兹阵列探测器基于透镜的输出光采集所述目标样品的图像。本发明具有体积小、结构简单、成像速度快、成像焦距和清晰度可调等优点，适用于太赫兹频段的成像分析及穿透性演示。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 阵列 成像 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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