[发明专利]基于磁偏置结构的高灵敏度声表面波矢量磁场传感系统在审
| 申请号： | 202210322196.0 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114659540A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 白飞明;邹昱佳;金立川;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01R33/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
一种基于磁偏置结构的高灵敏度声表面波矢量磁场传感系统，属于电子信息材料与器件技术领域。包括正偏MSAW传感器、反偏MSAW传感器和混频器，所述正偏MSAW传感器和反偏MSAW传感器包括自下而上依次设置的SAW谐振器、绝缘层、磁敏感层和绝缘钝化层；其中，所述正偏MSAW传感器和反偏MSAW传感器上施加相反的偏置场。本发明采用两个偏置场相反的MSAW传感器，相较于单个MSAW传感器组成的系统，最大频移量Δf |
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| 搜索关键词： | 基于 偏置 结构 灵敏度 表面波 矢量 磁场 传感 系统 | ||
【主权项】：
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