[发明专利]液态源鼓泡器有效
| 申请号： | 202210320150.5 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN115121139B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 陈亮 | 申请（专利权）人： | 上海良薇机电工程有限公司 |
| 主分类号： | B01F23/231 | 分类号： | B01F23/231;B01F23/232;B01F35/60;B01F35/71 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 高璀璀 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区潘园公路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体外延设备领域内的一种液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及气泡分布器；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，气泡分布器位于进气管的出气口上方，液体加注管的一端自筒体的顶板进入筒体内，出气管的一端与筒体的顶板上的通孔密封连接；液体经液体加注管加入筒体内，气体通过出气口进入筒体内并形成气泡，上移的气泡穿过气泡分布器后气泡沿筒体的径向方向扩散且粘连的气泡被分离，经扩散与分离的气泡上移并通过出气管通入外部反应装置。本发明通过气泡分布器即提高了气泡的独立性，又提高了气泡的分布面积，从而提高了气泡将液体带离的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 源鼓泡器 | ||
【主权项】：
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