[发明专利]一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 202210310364.4 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN114574963B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 杨定勇;朱庆龙;邹文龙;张力峰 | 申请（专利权）人： | 扬州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 马德龙 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅铸锭设备技术领域，具体为一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统及控制方法，一种用于多晶铸锭炉的温度输出功率控制系统，包括温度测量模块、高度统计模块、加热模块、功率调节模块、数据统计模块、温度对比模块和时间记录模块；所述温度测量模块包括炉内温度测量模块和炉表温度测量模块，所述炉内温度测量模块用于测量所述加热模块的温度，所述炉表温度测量模块用于测量多晶铸锭炉外表的温度；所述高度统计模块，用于带动所述炉表温度测量模块进行上下移动，本发明利用固液界面的增长速度来对加热模块需求的输出功率进行控制，进而避免对硅液的温度进行采集，从而提高温度输出功率的精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 铸锭 温度 输出功率 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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