[发明专利]一种基于衍射光栅的可补偿其周期性非线性误差的光学读数头在审
| 申请号： | 202210303737.5 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114777653A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 熊显名;王鹏;张文涛;杜浩;曾启林;徐瑞书 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种基于衍射光栅的可补偿其周期性非线性误差的光学读数头。其特征是：它由激光器1、分光镜2和9、偏振镜3和14、光电探测器4、12、13及15、偏振分光镜5和11、衍射光栅6和7、角反射镜8以及半波片10组成。本发明可用于对被测位移信息及测量系统周期性非线性误差的实时测量；本系统光路结构简单易于搭、系统小型化和集成化，能够对光栅尺位移测量系统非线性误差进行实时补偿，提高了系统的测量精度与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 衍射 光栅 补偿 周期性 非线性 误差 光学 读数 | ||
【主权项】：
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