[发明专利]一种适用于多种形状模板的纳米压印辅助装置有效
| 申请号： | 202210297383.8 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114624957B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于多种形状模板的纳米压印辅助装置，包括图像抓取单元、激光切割单元、上料单元、固定单元和纳米压印基片固定单元，图像抓取单元用于抓取基片的边缘；激光切割单元用于切割基片，将基片切割成补偿基片；上料单元位于激光切割单元和纳米压印基片固定单元之间，上料单元将切割好的补偿基片由固定单元转移至纳米压印基片固定单元；固定单元用于暂时固定基片和补偿基片，使激光切割单元对基片和补偿基片进行切割；纳米压印基片固定单元用于固定切割好的基片和补偿基片，并且将基片和补偿基片输送至压印处完成纳米压印动作使一台纳米压印设备同时适用于多种形状模具，满足多种需求，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 多种 形状 模板 纳米 压印 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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