[发明专利]一种太赫兹波段材料载流子浓度测量方法

摘要

本发明涉及一种太赫兹波段材料载流子浓度测量方法，属于太赫兹应用技术领域。该方法包括：S1：利用太赫兹光谱系统，测量无样品时的太赫兹参考信号以及有材料样品时的太赫兹样品信号，并利用傅里叶变换获得频域的参考信号以及样品信号；S2：利用频域的参考信号及样品信号的比值获得幅值比及相位差；S3：根据材料光学参数与样品信号的理论关系，反演出样品的复介电常数，然后计算出材料的复电导率；S4：根据复电导率与载流子浓度依赖关系，计算材料在不同波长下的材料载流子浓度。本发明适用于不同的太赫兹系统，可实现毫米到微米再到纳米尺度范围的材料载流子无损测量。