[发明专利]热场保温组件及单晶炉设备在审
申请号: | 202210288592.6 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114657645A | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 陈国良;王新强;刘利国;李海明;刘玉斌 | 申请(专利权)人: | 双良硅材料(包头)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李赫 |
地址: | 014062 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种热场保温组件,包括中部形成有热场保温腔的石墨保温筒,所述石墨保温筒的外周部套设有气泡层保温筒,所述石墨保温筒的外周壁与所述气泡层保温筒的内环壁之间填充有保温毡层。该热场保温组件能够优化热场的整体保温效果,降低单晶炉设备的整体能耗,并使单晶炉设备的工作效率和性能相应提高。本发明还公开了一种应用上述热场保温组件的单晶炉设备。 | ||
搜索关键词: | 保温 组件 单晶炉 设备 | ||
【主权项】:
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