[发明专利]DCR气体用吸光分析装置、方法及存储分析程序的存储介质在审

专利信息
申请号: 202210271897.6 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN115128000A 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 古屋雄一;田中雅之;坂口有平;南雅和;志水彻 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社;株式会社堀场STEC
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/3518
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 周春燕;金玉兰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种即使是由吸收光谱重叠的DCR气体与CO气体构成的混合气体,也能够仅分离DCR气体的吸光度而计算出其浓度的DCR气体用吸光分析装置,DCR气体用吸光分析装置具备:DCR用滤光器(31),其使包含DCR气体的吸收峰的第一波数范围的光透过;CO用滤光器(32),其使处于CO气体的吸收波数范围且与所述第一波数范围不同的第二波数范围的光透过;以及DCR气体量计算器(4),其基于利用透过了所述DCR用滤光器(31)的光而测定的第一吸光度(A1)、以及利用透过了所述CO用滤光器(32)的光而测定的第二吸光度(AC2),计算出所述DCR气体的量。
搜索关键词: dcr 体用 分析 装置 方法 存储 程序 介质
【主权项】:
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