[发明专利]一种扩展结构场效应晶体管在审
| 申请号： | 202210269899.1 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114660157A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王轶卿;杨敏;吴斐;汪洵;王婷;丁松;薄翠梅 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;B82Y10/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 刘畅;徐冬涛 |
| 地址： | 211899 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扩展结构场效应晶体管，涉及医学检验、生物传感和半导体技术领域。分为换能区和传感区。换能区包括：衬底、底部栅介质层、沟道层、源极、漏极、顶部栅介质层、背栅和栅极；传感区包括：衬底、底部栅介质层、扩展栅极、传感层、储液器和液栅。整个换能区分为五层，最底层为衬底，上面一层为底部栅介质层，中间一层由沟道层、源极和漏极组成，上面一层为顶部栅介质层，最上面一层为栅极，背栅位于衬底上。整个传感区分为五层，最底层为衬底，上面一层为底部栅介质层，中间一层为扩展栅极，连接到换能区的栅极，上面一层为传感层，最上面一层为液栅。本发明通过扩展栅极将信号传递至换能区，进而引起源极和漏极间的电流发生变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩展 结构 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
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