[发明专利]改善SAW器件压电薄膜压电系数的设计方法及压电薄膜有效
| 申请号： | 202210268420.2 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114664385B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨成韬;茹子雄;李瑶瑶 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G16C10/00 | 分类号： | G16C10/00;G16C60/00;C23C14/06;C23C14/35;H10N30/076 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 敖欢 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种改善SAW器件压电薄膜压电系数的设计方法及得到的压电薄膜，包括步骤：(1)搭建晶胞模型，按照AlN卡片的原子位置添加，得到初级晶胞模型；(2)将搭建的初级晶胞模型扩展成超胞；(3)对超胞进行Sc原子掺杂，设置一个掺杂浓度得到掺杂后的超胞模型；(4)利用第一性原理计算Sc掺杂后的压电系数；(5)重复以上步骤，依次更换不同浓度的Sc原子掺杂，分别利用第一性原理计算Sc掺杂后的压电系数，压电系数最大的为Sc原子掺杂浓度最优值。本发明搭建模型并利用第一性原理计算，找到提升薄膜压电性能的方法，减少了实践中大量重复实验，提供了实验方向，减少实验成本。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 saw 器件 压电 薄膜 系数 设计 方法 | ||
【主权项】：
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