[发明专利]一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法在审
| 申请号： | 202210262674.3 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114639579A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 吴长征;谢毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王娇娇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本申请公开了一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法，所述电化学刻蚀装置包括：刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池，所述刻蚀调节模块中设置有待制备的电子源器件，所述电子源器件的一端与所述控制电路模块连接，另一端浸没在所述电化学池内，所述电化学池的一端与所述控制电路模块连接；其中，所述控制电路模块用于对所述电子源器件和所述电化学池施加预设电压和电流，以使得浸没在所述电化学池内的电子源器件进行电解刻蚀，形成具有微凸起针尖的电子源器件。应用本发明提供的技术方案，通过电化学刻蚀法，将LaB |
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| 搜索关键词： | 一种 电化学 刻蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
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