[发明专利]一种硅基液晶清洗装置及清洗方法

摘要

本发明公开了一种硅基液晶清洗装置及清洗方法，涉及硅基液晶生产技术领域，本发明的硅基液晶清洗装置，包括具有容纳空间的矩体框架以及在矩体框架上围绕容纳空间并沿第一方向间隔设置的多个呈U型的固定架，固定架所在的平面与第一方向垂直，固定架包括依次连接的三个子支架，三个子支架上分别设有卡槽，卡槽的槽口分别朝向容纳空间设置，还包括转动设置在矩体框架或固定架上的清洗组件，清洗组件和矩体框架沿与第一方向垂直的第二方向依次分布。本发明提供的硅基液晶清洗装置，能够避免在清洗过程中硅基液晶表面划痕、划伤的产生，降低破片的风险，提高清洗良率和清洗效率。