[发明专利]一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器在审
| 申请号： | 202210253294.3 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114608718A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;刘赛赛;高初缘 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34;G01K5/52 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 孙建朋 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器，包括衬底，蜂窝形结构梁，蜂窝形结构梁锚区，第一V形梁支梁、第二V形梁支梁、第三V形梁支梁、第四V形梁支梁，第一V形梁锚区、第二V形梁锚区、第三V形梁锚区、第四V形梁锚区，第一V形梁推动杆、第二V形梁推动杆，折纸结构梁，第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，折纸结构梁锚区，金属电极和平面电感。本发明温度传感器采用温度‑位移‑电容转化原理，灵敏度高、检测误差小，且具有工艺兼容、设计灵活、结构简单等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 折纸 结构 灵敏度 温度传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210253294.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
