[发明专利]一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法在审
| 申请号： | 202210246676.3 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114590793A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 魏利 | 申请（专利权）人： | 苏州科国智新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/10 | 分类号： | C01B32/10;C01B32/186;C01B32/194 |
| 代理公司： | 盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙) 32503 | 代理人： | 丁绘燕 |
| 地址： | 215222 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法，所述弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法包括如下步骤(1)对惰性衬底进行彻底清洗；(2)将惰性衬底放在真空室内；(3)将辅助性碳氢源气体与碳氟源气体混合后通入工艺室；(4)对碳氢源气体与碳氟源气体进行电离分解；(5)在衬底上制备石墨烯层，在石墨烯层上设备保护层；(6)对衬底进行多次弯折后对衬底以及保护层进行去除得到氟化碳膜，本申请利用弯曲结构的石墨在纵方向进行热传导的特性，使得本氟化碳膜具有较为的热稳定性，本工艺均匀性以及重复性较好，污染少、成本低、容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯曲 石墨 结构 节后 氟化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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