[发明专利]一种单晶炉加料装置在审
| 申请号： | 202210245069.5 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114411241A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 袁华中;朱吉元;朱一鸣;谢剑舟;来迪文;史冰冰 | 申请（专利权）人： | 浙江精功科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02 |
| 代理公司： | 天津知川知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12249 | 代理人： | 耿树志 |
| 地址： | 312030 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉加料装置，通过控制直线模组将石英玻璃管定位到炉体内合适位置，将竖波纹管和装料单元连接后，将装料单元内抽真空，打开真空闸板阀，通过控制气缸将尼龙套移动到下位，装料单元中的硅料通过可伸缩非金属管、尼龙套和尼龙弯头后落入到具有一定倾斜角度的石英玻璃管中，通过电机控制传动装置带动石英玻璃管旋转，石英玻璃管内壁的螺旋状表面或槽筋状表面能够推送硅料顺利的进入到炉体内。本发明实现了在炉体不降温的情况下对炉内硅料的补充，减少炉子降温和升温过程中的能耗，节约时间成本；采用传动装置带动粗糙内壁的石英玻璃管旋转推送物料的方式，避免了对单晶炉内热场环境的影响，提升了产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 加料 装置 | ||
【主权项】：
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