[发明专利]投影物镜系统在审
| 申请号： | 202210244421.3 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114563866A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 申淙;谭胜旺;孙明睿;高爱梅 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G03B21/14 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张鹏 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，第一透镜组至第五透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正；五个透镜组满足：f2/L＞‑0.1，f4/L＞‑0.3；其中f2为第二透镜组的焦距，f4为第四透镜组的焦距，L为投影物镜系统的物像距；根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 系统 | ||
【主权项】：
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