[发明专利]基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法在审
| 申请号： | 202210237570.7 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114815130A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王胭脂;陈昌;王志皓;张宇晖;陆叶盛;朱晔新;张伟丽;孙建;陈宇;邵宇川;易葵;冯吉军;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/188 | 分类号： | G02B7/188 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法。通过离子束技术修正光学薄膜面形形变，使薄膜元件达到无残余应力双面平衡状态。具体方法为测量已制备薄膜元件面形的矢高值(Power)，根据矢高值失配量在基底背面镀制SiO |
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| 搜索关键词： | 基于 离子束 光学薄膜 元件 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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