[发明专利]一种高抛光液使用效率的抛光垫有效
| 申请号： | 202210233488.7 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114770371B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 相红旗;施建国;陈凯;姚力军 | 申请（专利权）人： | 宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 安栎 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高抛光液使用效率的抛光垫，包括抛光层，设置于所述抛光层中心的环形沟槽，所述环形沟槽的外部衍生有长弧形沟槽，所述长弧形沟槽以所述环形沟槽的边缘处为起点，呈发散状延伸至所述抛光层的边缘，并将所述抛光层分割成若干组长桨叶状抛光区，相邻两条所述长弧形沟槽之间的长桨叶状抛光区内设置有多级梯度的弧形沟槽，所述多级梯度弧形沟槽具有位于所述长桨叶状抛光区内起始点产生、并延伸到所述抛光层的外边缘，长弧形沟槽定义为初级弧形沟槽。该抛光垫中的螺旋型沟槽可实现抛光液快速到达晶片抛光区域，有效降低抛光液抛光过程中的损耗，多区域不同密集程度沟槽可以有效改善晶片内部的抛光均匀性，并可保持较高的抛光速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 使用 效率 | ||
【主权项】：
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