[发明专利]体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
申请号: | 202210218425.4 | 申请日: | 2022-03-05 |
公开(公告)号: | CN115250104A | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 张孟伦;庞慰 | 申请(专利权)人: | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
代理公司: | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人: | 汤雄军 |
地址: | 300462 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;压电层;声学镜;底电极;顶电极;单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置;所述底电极设置有声学干涉结构。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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