[发明专利]一种全自动接近式曝光机在审
| 申请号： | 202210217885.5 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN114690589A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 傅舰艇;林世超 | 申请（专利权）人： | 苏州中特微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州汇智联科知识产权代理有限公司 32535 | 代理人： | 黄晶晶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动接近式曝光机，涉及曝光技术领域，包括：支撑单元，所述支撑单元后侧固定连接有固定架；取料机械手和放料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；上料机械手和下料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；光源系统，设置在固定架上表面；两个视觉系统，对称设置固定架上表面左右两侧；精对位系统，设置在支撑单元中部；中转单元，设置在支撑单元上表面左侧；料仓装置，设置在支撑单元上表面前端两侧；粗对位系统，设置在支撑单元上表面右侧。本发明通过设置上料机械手、粗对位系统、取料机械手、中转单元、放料机械手和下料机械手，使得晶圆片没有等待时间，有效提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 接近 曝光 | ||
【主权项】：
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