[发明专利]一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统在审
| 申请号： | 202210189776.7 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114577152A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 于静;吴燕林;周庆亚;李嘉浪;张康 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/00 | 分类号： | G01B17/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统。所述抛光垫沟槽检测方法包括：采用声波传输液发射单元对研磨区喷射声波传输液形成第一液柱；采用声波发射单元通过第一液柱对研磨区发射第一检测声波；采用声波接收单元接收研磨区的第一反馈声波；采用声波传输液发射单元对沟槽喷射声波传输液形成第二液柱；采用声波发射单元通过第二液柱对沟槽发射第二检测声波；采用声波接收单元接收沟槽的第二反馈声波；根据接收第一反馈声波和发射第一检测声波的时间差、以及接收第二反馈声波和发射第二检测声波的时间差、声波传输液对声波的传输速度获取沟槽的深度。本发明在工作状态下，实现了检测与清洗同时进行，提高了检测效率和检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 声波 抛光 沟槽 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
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