[发明专利]一种用环糊精衍生水性剥离剂去除氧化铟锡表面有机光刻胶的高效喷涂方法在审
| 申请号： | 202210181055.1 | 申请日： | 2022-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN114527632A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 赵振合;刘絮霏 | 申请（专利权）人： | 筑磊半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201824 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用环糊精衍生水性剥离剂去除氧化铟锡表面有机光刻胶的高效喷涂方法，所述处理方法包括如下步骤：S1、运用单乙醇胺、四甲基氢氧化铵、环糊精和水等配置环糊精衍生水性剥离剂；S2、将剥离剂加入加压罐内，并保持恒温恒压；S3、将喷嘴出口和氧化铟锡电极表面之间的喷射距离保持在50～100 mm之间，喷嘴内需配有涡流室；S4、喷涂时喷嘴流量≤500 mL/min，喷涂时间保持在30～40秒，且在恒温条件下进行，喷雾结构和冲击力需使得修正韦伯数(We*)＜200～300；S5、喷涂完成后将氧化铟锡电极板进行冲洗、干燥。该种用环糊精衍生水性剥离剂去除氧化铟锡表面有机光刻胶的高效喷涂方法，运用可高效收集光刻胶残留物的环糊精衍生水性剥离剂，结合喷嘴喷射的喷雾结构、雾化和冲击条件，应用低的去除温度和快速的去除时间，不仅可去除在氧化铟锡电极上的光刻胶，保持电极电学和光学性能的稳定，同时可减少光刻胶去除工艺步骤中环境污染物的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环糊精 衍生 水性 剥离 去除 氧化 表面 有机 光刻 高效 喷涂 方法 | ||
【主权项】：
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