[发明专利]一种基于AFM的十纳米多能场加工装置及加工方法

摘要

本发明公开了一种基于AFM的十纳米多能场加工装置及加工方法。该加工装置包括原子力显微镜加工与成像模块、高强度激光发生与控制模块及电物理场产生与控制模块。本发明通过激光与电物理场耦合产生局域场增强效应，作用于特殊强化处理后的探针针尖与样品表面，然后借助原子力显微镜纳米级的探针运动控制功能，控制扫描探针通过光、电、热、力等多种能场作用在样品表面进行去除或改性。通过上述开发的光、电、热和力耦合的混合匹配光刻策略，可有效得到去除或改性效果、减缓探针针尖磨损速度并大幅提高加工精度和加工效率。