[发明专利]晶圆测试数据处理方法在审

专利信息
申请号: 202210165182.2 申请日: 2022-02-23
公开(公告)号: CN114595193A 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 徐展菲;张钦祥;熊凯 申请(专利权)人: 上海利扬创芯片测试有限公司
主分类号: G06F16/14 分类号: G06F16/14;G06F16/16;G06F16/17
代理公司: 北京前审知识产权代理有限公司 11760 代理人: 张静;张波涛
地址: 201800 上海市嘉*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 公开了晶圆测试数据处理方法,方法中,每片晶圆测试完成后,探针生成第一文件,测试机生成第二文件,探针台上抛第一文件到服务器指定的路径,实时监听所述路径下是否有文件异动以判断第一文件是否上传完成,当监听到第一文件已经上传完毕后发起处理请求,基于处理请求加工第一文件得到相关联的数据信息,基于取得的信息获取所述第二文件,解析所述第二文件获取最终数据信息。
搜索关键词: 测试 数据处理 方法
【主权项】:
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