[发明专利]宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质在审
| 申请号： | 202210160959.6 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114608472A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张为国;孙艳林;熊欣;邓晓洲;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 珠海迈时光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张志辉 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质，该宽光谱干涉显微测量方法包括：获取待测样品的干涉图；确定干涉图的调制度，通过调制度标识干涉图的第一区域，第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域；对第一区域执行相位展开，得到干涉图多个焦面的真实相位图；对多个焦面的真实相位图相位拼接，得到干涉图的相位分布；根据相位分布确定待测样品的表面高度分布。本发明的有益效果为：以干涉条纹调制度量化条纹质量，以相位展开方法获得在设定区域的样品高度分布；将不同焦面位置获取的样品高度进行拼接，可获得扩展量程的高精度形貌测量结果，适用用于高精度、大量程宽光谱干涉显微测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 干涉 显微 测量方法 装置 电子设备 介质 | ||
【主权项】：
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