[发明专利]一种三轴霍尔角度传感器

摘要

本发明公开了一种三轴霍尔角度传感器，涉及微电子学与固体电子学领域。本发明三接触四霍尔结构具有旋转对称性，将同一方向垂直霍尔器件正交耦合连接能有效消除失调，并且能增大测量水平方向磁场的绝对灵敏度。放置在中间的四个完全一样的霍尔器件通过正交耦合连接在一起，该方式可以很好的消除器件几何误差、有源区掺杂不均匀、以及接触电阻等工艺误差等引起失调。因此采用四个垂直霍尔器件测量水平方向的磁场，测量同一水平方向磁场时使用两个互补的垂直型结构消除误差。该三轴霍尔角度传感器面积仅为142×142μm2，实现了测量磁场方向与xy平面夹角误差小于0.2°，磁场方向在xy平面投影与x轴夹角误差小于0.05°的性能。