[发明专利]一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置和方法在审
| 申请号： | 202210160261.4 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114217143A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张红丽;齐晓辉;李宏;吴健煜;郑亦菲 | 申请（专利权）人： | 天津鲲鹏信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R31/28;G01B5/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 段盼姣 |
| 地址： | 300459 天津市滨海新区塘沽海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置和方法。该装置包括位于被测集成电路正上方的探头，对探头进行位移调度的计算机及配套的三维移动平台，第一显微镜、第二显微镜以及标尺；标尺平行贴靠在被测集成电路的第一边，该第一边的第一端点对应标尺上的第一刻度点，取该第一端点为被测集成电路原点；第一显微镜中心轴线与探头尖共线并与XY平面垂直，在XY平面内移动第一显微镜和探头进行X、Y轴定位；第二显微镜中心轴线与探头尖共线并与被测集成电路第一边成45度角；根据预设测试高度、第二显微镜读取的标尺刻度值以及第一刻度点，实现探头在Z轴的定位。本装置能够实现近场扫描装置Z轴精准定位，使近场扫描测试结果更精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 集成电路 近场 扫描仪 精准 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津鲲鹏信息技术有限公司，未经天津鲲鹏信息技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210160261.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
