[发明专利]一种真空吸盘吸附异常的检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202210147616.6 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN114543714A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 马运军;吕亮;张雷 | 申请（专利权）人： | 源卓微电子装备（常德）有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/24 | 分类号： | G01B13/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 415000 湖南省常德市常德国家高新*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出真空吸盘吸附异常的检测装置，包括：真空控制单元，配置为输出启动信号或停止信号以启动或停止抽真空操作，并控制调整真空吸盘内部空腔的真空负压力，压力检测单元，配置为检测真空吸盘内部空腔的真空负压力值，并在检测到真空负压力值达到预设的负压值时输出响应信号，控制器单元，配置为在获取到真空控制单元的启动信号时开始计时，在获取到压力检测单元的响应信号时停止计时，以此得出真空响应时间，将真空响应时间与预设的标准响应时间进行比较，根据比较结果判断真空吸盘是否存在吸附异常，该装置进行吸附异常检测简单有效，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸盘 吸附 异常 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于源卓微电子装备（常德）有限公司，未经源卓微电子装备（常德）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210147616.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
