[发明专利]一种在含氧化层硅衬底上转移应变石墨烯的方法有效
| 申请号： | 202210137751.2 | 申请日： | 2022-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN114394589B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 赵沛;金言涵;张洋;刘净兰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B32/19 | 分类号： | C01B32/19 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在含氧化层硅衬底上转移应变石墨烯的方法，属于石墨烯转移领域。本发明使用方华树脂薄膜作为石墨烯柔性拉伸承载层，在目标衬底即含氧化层硅衬底上滴加去离子水营造液体转移环境，对处于柔性拉伸层上的石墨烯施加单轴拉伸使其产生应变，然后将含氧化层硅衬底与石墨烯贴紧并利用毛细效应剥离柔性拉伸承载层，得到含氧化层硅衬底上的应变石墨烯，最高应变可达1.5％，并且转移后的石墨烯具有很好的完整性。该方法无需对含氧化层硅衬底进行复杂的预先图案化处理，具有便捷与普适性。在含氧化层硅衬底上的应变石墨烯可以作为石墨烯应变工程器件的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 衬底 转移 应变 石墨 方法 | ||
【主权项】：
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