[发明专利]一种高精度石墨烯超低温温度传感器在审
| 申请号： | 202210124568.9 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114518179A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王俊强;郑士瑜;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于温度传感器技术领域，具体涉及一种高精度石墨烯超低温温度传感器，包括基板、专用集成电路、衬底、温度敏感层、引线，所述专用集成电路设置在基板上，所述衬底设置在专用集成电路上，所述温度敏感层设置在衬底上，所述温度敏感层电性连接有叉指电极，所述叉指电极设置在温度敏感层上，所述叉指电极通过引线与专用集成电路电性连接。本发明在原有电阻式温度传感器基础上，利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，相比于传统金属或半导体作为温敏材料，在小体积的前提下，极大的提高了电阻式温度传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 石墨 超低温 温度传感器 | ||
【主权项】：
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