[发明专利]一种二维运动平台在审
| 申请号： | 202210117093.0 | 申请日： | 2022-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114499102A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张振夺;陈强;刘鑫 | 申请（专利权）人： | 深圳市德沃先进自动化有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;F16F15/067;F16F15/08;H02K11/22;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳市恒和大知识产权代理有限公司 44479 | 代理人： | 肖静敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新安街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体封装制造技术领域，提供了一种二维运动平台，包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机。X向及Y向驱动直线电机可分别驱动X向运动平台及Y向运动平台线性运动，并最终驱动工作运动平台在XY平面内做二维线性运动,本发明的二维线性平台的直线电机定子通过柔性装置安装到运动平台底座上，从而减小了直线电机定子对运动平台底座的冲击力，减小运动平台的振动，提升了运动平台运行的稳定性和定位精度；本发明可明显降低电机定子对运动平台底座的冲击，减小运动平台及底座的振动，使得运动平台运行更加稳定，停止时稳定时间明显加快，振动时间缩短，定位精度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 运动 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市德沃先进自动化有限公司，未经深圳市德沃先进自动化有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210117093.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
