[发明专利]一种单面数字光刻系统在审
| 申请号： | 202210115539.6 | 申请日： | 2022-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114265287A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;甘泉;龚海峰 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单面数字光刻系统，包括第一平台、第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体、设置于所述光刻主体两侧的靶点相机及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件；所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述待光刻线路板包括一待光刻表面，所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，所述靶点相机用于获取所述待光刻线路板的待光刻表面的图像信息，以实现所述光刻主体根据所述图像信息对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。本发明提供的单面数字光刻系统，提高了光刻效率，提高了光刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单面 数字 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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